抗膠應用

半導體封裝製程中,常因模具沾錫、黏膠等問題,導致生產效率降低。為解決本問題,祐邦科技研發出獨步全球的奈米鍍膜表面處理技術,可以針對不同的膠體種類,在不影響現有模具設計的前提下,發揮優異的抗膠效果,有效改善封裝生產線的產能。

獨步全球的表面處理技術

般膠的材質,多為包含大量氫鍵的有機高分子,並透過氫鍵與其他物質形成鍵結,因此仍屬於化學沾黏的一種。而半導體產業中需抗膠的物體,有許多需要與晶圓接觸,因此維持平整度也是重要的條件之一。

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不影響底材平整度

邦科技的鍍膜技術,由於是分子的層級,厚度僅約數十奈米,不會影響到底材本身的平整度。因此在作用基團的選擇上,採用類似鐵氟龍性質的基團,以求將抗膠的效果最大化。

內的實測顯示,將0.25cm X 0.25 cm的3M泡棉膠,以下壓力60g黏於不鏽鋼塊表面後,慢慢拉起時的最大拉力可從大於100g降至20g以下。此外,即使經過300℃的高溫烘烤,接觸角量測結果仍顯示表面的薄膜並未因此剝離。

螢幕快照 2015-08-31 下午2.31.12

抗膠能力大幅提升

過客戶的驗證,證明preciser鍍膜後並不會影響吸取及放下晶圓時的過程,且經過300萬次的吸放之後,仍可有效發揮抗膠的效果。而同樣承載晶圓的陶瓷切割盤﹝mount table﹞,亦證實可長時間發揮抗膠的效果。


邦公司所研發出的技術,可使用於不銹鋼、鎢鋼、鋁材、陶瓷等模具表面,對於各種工業及半導體業常用黏膠,均可發揮抗膠效益,且因奈米薄膜與模具表面為化學鍵結,因此抗膠薄膜不容易剝落,使用壽命長,效果極為顯著。